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高真空R2R镀锂机
设备特性：

高真空环境下完成锂原子沉积，均匀性更好，纯度与致密度更优

行业首创真空舱内离子钝化单元，可根据客户要求定制钝化层

独创热辊压加辐照单元，在补锂应用中促使补锂与硅碳充分结合

可选配镀前镀后锂电智能制造单元模块，适配前后道工序工艺优化

沉积过程锂的利用率≥85%

标准配置：

1. 双辊双面沉积卷绕

2. 卷绕过程自动纠偏系统

3. 设备内部环境自动监测系统

4. 便捷式快速更换蒸发单元

5. 断带自清洁单元

可选配置：

沉积前后阳离子预处理单元

沉积前后原子热加速单元

沉积前后阴极靶溅射单元

沉积后离子加速钝化单元

沉积后热辊压辐照单元

沉积前后锂电智造单元模块